Testing and Failure Analysis
技術(shù)參數(shù)
1.掃描范圍:90μm × 90μm × 10μm
2.光學(xué)輔助觀察系統(tǒng):285 ~ 1285倍放大
3. 分辨率:1.5μm
4. 視場范圍:180-1465μm
應(yīng)用范圍
表面形貌圖像、表面粗糙度、三維表面形態(tài)影像、形態(tài)的定量測量
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